化學滅菌法系指用化學藥品殺滅微生物的方法。其殺菌機制可能是：作用于微生物核酸蛋白，使其變性、與微生物酶系統結合影響代謝或改變膜壁通透性致微生物死亡等。氣體滅菌法是常用的化學滅菌法。
氣體滅菌法系指利用化學藥品形成的氣體殺滅微生物的方法。常用的化學藥品有環氧乙烷、氣態過氧化氫、甲醛、臭氧等。采用氣體滅菌法時應注意滅菌氣體的可燃可爆性、致畸和殘留毒性。
本法常用的氣體是環氧乙烷，一般與80％一90％的惰性氣體混合使用，在充有滅菌氣體的高壓腔室內進行。環氧乙烷分子易穿透塑料、紙板和固體粉末，可用于塑料包裝的原料粉末、散劑、顆粒等固體藥料及其他不能采用高溫滅菌的物品滅菌。含氯物品以及能吸附環氧乙烷的物品不宜采用本法滅菌。
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